湿式蚀刻过程三个步骤

2018-05-30  来自: 佛山市南海区亚葛蚀刻加工厂浏览次数:286

  湿式蚀刻过程可分为三个步骤:

  1) 化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面;

  2) 蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应;

  3) 反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中,并随溶液排出。

  三个步骤中进行最慢者为速率控制步骤,也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

  湿式蚀刻的速率通常可藉由改变溶液浓度及温度予以控制。溶液浓度可改变反应物质到达及离开待蚀刻物表面的速率,一般而言,当溶液浓度增加时,蚀刻速率将会提高。而提高溶液温度可加速化学反应速率,进而加速蚀刻速率。


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